簡要描述:德國(guo)INFICON Transpector MPH/MPS質(zhi)譜儀,是一款(kuan)殘余氣體分析儀,用于(yu)一般真(zhen)空應用。
品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
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應用領域 | 環保,綜合 |
德國INFICON Transpector MPH/MPS質譜儀產品簡介:
INFICON, RGA為您提供標準的(de)和(he)高性能的(de)殘余(yu)氣體(ti)分(fen)析儀來滿(man)足您真空應用的(de)需要. Transpector MPS 和(he)Transpector MPH 均具有(you)工(gong)業的(de)數據收集速率, *小(xiao)的(de)可檢分(fen)壓(MDPP) 和(he)訊(xun)噪比(bi). 加上(shang)低的(de)總體(ti)擁有(you)成(cheng)本(ben)和(he)高的(de)平均時間(MTBFs), Transpector MPS 和(he) Transpector MPH 幫助您的(de)收益底(di)線遠超過市場上(shang)其(qi)它RGA系列(lie)產品.
1、TRANSPECTOR MPS–氣體(ti)分析的標準
Transpector MPS 設計用(yong)于(yu)要求(qiu)具有驗證的(de) Transpector 品牌的(de)高耐用(yong)性能(neng),一般真空應用(yong)中的(de) RGA 分析. 質(zhi)量范圍100 或200 amu 的(de) Transpector MPS 提(ti)供標(biao)準的(de)監(jian)測(ce)(ce)性能(neng). RGA 的(de)標(biao)準裝備是(shi)法拉第杯(bei)檢測(ce)(ce)器(qi),當需要監(jian)測(ce)(ce)低(di)濃度(du)氣體時, 可選用(yong)電(dian)子倍(bei)增器(qi)檢測(ce)(ce)器(qi).
2、TRANSPECTOR MPH–高(gao)性能用(yong)于高(gao)要(yao)求的應用(yong)
Transpector MPH 設計用(yong)于要求 RGA 具有(you)*高監測性能的(de)應用(yong)中. Transpector MPH 可(ke)提供 100, 200 和 300 amu 三種(zhong)不同的(de)質(zhi)量范圍, 具有(you)工業(ye)上*低(di)的(de) MDPP. TranspectorMPH 可(ke)裝備法拉第杯或電(dian)子(zi)倍增器檢測器, 以及(ji)提供可(ke)選的(de)校準氣(qi)體, 用(yong)于簡易和RGA 質(zhi)量標度(du)自動調諧(xie)的(de)校準參(can)考(kao).
3、傳(chuan)感(gan)器(qi)設計用于(yu)工業的MBTF和低(di)的總體(ti)擁有成本
綜合(he)地采(cai)納(na)客戶的(de)(de)反饋和深入的(de)(de)市場分析, INFICON 革新了Transpector MPS 和 Transpector MPH 的(de)(de)離子(zi)源. 新型離子(zi)源在陽及, 陰(yin)及和反射及的(de)(de)組(zu)裝(zhuang)件中(zhong)(zhong)包(bao)含兩(liang)根(gen)燈(deng)(deng)絲. 帶有備用(yong)燈(deng)(deng)絲的(de)(de)雙(shuang)燈(deng)(deng)絲結構可延長 RGA 的(de)(de)運行周期(qi)和避免出現意(yi)外的(de)(de)系統停機故障. Transpector MPH 還提供特定應用(yong)的(de)(de)燈(deng)(deng)絲選擇(鎢燈(deng)(deng)絲用(yong)于(yu)含鹵素的(de)(de)過程中(zhong)(zhong)或涂(tu)敷氧化釔的(de)(de)銥燈(deng)(deng)絲用(yong)于(yu)含氧的(de)(de)過程中(zhong)(zhong)) 確保過程本身不會影響燈(deng)(deng)絲的(de)(de)使用(yong)壽命.
在(zai)一般真空應用(yong)中 Transpector MPS 裝備涂敷氧化釔的(de)銥燈絲.在(zai)Transpector MPH 或 Transpector MPS 中, 更換燈絲組件(jian)等同(tong)于傳統(tong) RGAs 中更換整個離子源. 成本(ben)的(de)節約將大大地降(jiang)低這兩種 RGAs 的(de)總體(ti)擁有(you)成本(ben).
新型傳感器結構提供更(geng)(geng)多的(de), 可現(xian)場更(geng)(geng)換(huan)電子倍增(zeng)器 (如裝備). 您(nin)可在(zai)定期(qi)(qi)的(de)維護周期(qi)(qi)中快速地現(xian)場更(geng)(geng)換(huan) EM. 新型倍增(zeng)器已(yi)發展為具(ju)有(you)更(geng)(geng)長使(shi)用壽命(ming), 提供更(geng)(geng)高的(de)法拉第(di)杯(bei)(FC) 靈敏度和更(geng)(geng)強的(de)增(zeng)益.
4、可定標的通訊方法(fa)用(yong)于(yu)現代化(hua)的制造*心
Transpector MPS 和 MPH 采(cai)用以太(tai)網(wang)(wang)作為 RGA 與(yu)計算(suan)機(ji)(ji)之間默認的通訊手段. 對于單傳感器運(yun)行, 可(ke)(ke)將傳感器連(lian)接(jie)至現(xian)有(you)的網(wang)(wang)絡或直接(jie)連(lian)接(jie)任何計算(suan)機(ji)(ji)上的以太(tai)網(wang)(wang)端口(kou). 采(cai)用現(xian)有(you)的網(wang)(wang)絡或用可(ke)(ke)選(xuan)的路由器或以太(tai)網(wang)(wang)開關, 可(ke)(ke)實行多傳感器運(yun)行.
5、滿足您需要的軟(ruan)件
Transpector MPH 與得獎的 FabGuard 程序套件(jian)是兼(jian)容(rong)的, 包括與 FabGuard 工(gong)藝(yi)集(ji)成監(jian)測軟(ruan)(ruan)件(jian)和FabGuard Explorer 檢測軟(ruan)(ruan)件(jian).
為易于運行(xing), Transpector MPS 設計(ji)于使用FabGuard Explorer 軟(ruan)件(jian). 兩種 RGAs 均配備機(ji)載的(de)(de)(de)網頁服務(wu)器(qi),它允(yun)許(xu)從連接網絡(luo)的(de)(de)(de)任(ren)何(he)設備, 無軟(ruan)件(jian)運行(xing)您(nin)的(de)(de)(de) Transpector MPS 或 MPH. 這個(ge)網頁服務(wu)器(qi)不僅是可(ke)查閱(yue)標準(zhun)數據的(de)(de)(de)單(dan)個(ge)程序. 而是允(yun)許(xu)用于您(nin)預期的(de)(de)(de)全(quan)部手動數據查閱(yue)技術, 包含檢(jian)漏和傳感器(qi)調諧(xie)等(deng)標準(zhun)維(wei)護(hu)功能的(de)(de)(de)網頁服務(wu)器(qi).
德國INFICON Transpector MPH/MPS質譜儀技術參數:
MPS100F | MPS100M | MPS200F | MPS200M | MPH100F | MPH100M | MPH200F | MPH200M | MPH300F | MPH300M | |
傳感器(qi)長度(真空側) | 14.3厘米(5.63 吋)
| 19.3厘米(7.83 吋(cun)) | 14.3厘米(5.63 吋) | 19.3厘米(7.83 吋(cun))
| 14.3厘米(5.63 吋)
| 19.3厘(li)米(7.83 吋(cun))
| 14.3厘米(5.63 吋(cun)) | 19.3厘米(mi)(7.83 吋)
| 14.3厘(li)米(mi)(5.63 吋) | 19.3厘米(mi)(7.83 吋)
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質量范(fan)圍 | 1至100amu
| 1至200amu
| 1至100amu
| 1至200amu
| 1至(zhi)300amu
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檢測器類型 | FC
| EM/FC
| FC
| EM/FC
| FC
| EM/FC
| FC
| EM/FC
| FC
| EM/FC
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燈(deng)絲(si)類型 | 雙 Y2O3/Ir 燈(deng)絲
| 雙Y2O3/Ir(一(yi)般應用)或鎢(用于鹵素環境的應用)燈絲(si)
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分(fen)辨率(按1993 AVS的方法) | <1amu 寬度 @ 10% 峰高處,包括(kuo)整個質量范圍(wei)
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溫(wen)(wen)度系數(在8小時周期內, 半小時升溫(wen)(wen)后) | <1%峰高(gao)/°C(僅 FC)
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靈(ling)敏度(du)–安/乇 FC | 3x10-4(2.3x10-4 )
| 6x10-4(4.5x10-4)
| 5x10-4(3.8x10-4)
| 4x10-4(3x10-4) | ||||||
*大(da)數據(ju)率(lv)(模(mo)擬(ni)掃描或選(xuan)定(ding)的峰) | 3毫秒(miao)/點(dian)
| 1.8毫秒/點
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零沖(chong)擊波干(gan)擾在 M2 處 | <100ppm
| <5ppm
| <65ppm
| <100ppm
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總壓強(qiang)測量范(fan)圍,乇 (毫巴) ** | 2x10-7 –5x10-4 (2.7x10-7 –6.7x10-4 )
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*大工作壓強– 乇 (毫(hao)巴) | 5x10-4 (6.7x10-4 )
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*大烘(hong)烤溫度(電子學卸除) | 300°C
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*大傳感器FC 工作溫度EM | 200°C N/A
| 200°C 150°C
| 200°C N/A
| 200°C 150°C
| 200°C N/A
| 200°C 150°C
| 200°C N/A
| 200°C 150°C
| 200°C N/A
| 200°C 150°C
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電源(yuan)輸入(ru) | 20-30 伏(直流(liu)),30 瓦*大–典(dian)型值 24 伏(fu)(直流)1.25 安(an)*大
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以(yi)太網通訊接口(kou) | 標準: CAT5e 以太網電纜連接
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可選校準參考 | 無(wu)
| 氬(ya)用于EM校準(zhun)或測試混合物用于調(diao)諧(xie)
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繼(ji)電器輸出 | 一個繼電器, 24 伏在 0.5 毫安
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輸(shu)入 | 一個(ge)模擬輸(shu)入, 兩(liang)個(ge)數字輸(shu)入 | |||||||||
LED 指(zhi)示燈 (綠(lv)色(se)) | 一個(ge)用(yong)于指示電(dian)源狀(zhuang)態, 一個(ge)用(yong)于指示發射狀(zhuang)態 |
*用一個基(ji)線噪聲的(de)標(biao)準偏(pian)差除以氮的(de)靈敏度計算的(de).
**與分壓(ya)強測量無關,用于連續的燈(deng)絲保護和(he)分析.