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德國INFICON Transpector MPH/MPS質譜儀

簡要描述:德國(guo)INFICON Transpector MPH/MPS質(zhi)譜儀,是一款(kuan)殘余氣體分析儀,用于(yu)一般真(zhen)空應用。

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品牌其他品牌產地類別進口
應用領域環保,綜合

德國INFICON Transpector MPH/MPS質譜儀產品簡介:

INFICON, RGA為您提供標準的(de)和(he)高性能的(de)殘余(yu)氣體(ti)分(fen)析儀來滿(man)足您真空應用的(de)需要. Transpector MPS 和(he)Transpector MPH 均具有(you)工(gong)業的(de)數據收集速率, *小(xiao)的(de)可檢分(fen)壓(MDPP) 和(he)訊(xun)噪比(bi). 加上(shang)低的(de)總體(ti)擁有(you)成(cheng)本(ben)和(he)高的(de)平均時間(MTBFs), Transpector MPS 和(he) Transpector MPH 幫助您的(de)收益底(di)線遠超過市場上(shang)其(qi)它RGA系列(lie)產品.

1、TRANSPECTOR MPS–氣體(ti)分析的標準

Transpector MPS 設計用(yong)于(yu)要求(qiu)具有驗證的(de) Transpector 品牌的(de)高耐用(yong)性能(neng),一般真空應用(yong)中的(de) RGA 分析. 質(zhi)量范圍100 或200 amu 的(de) Transpector MPS 提(ti)供標(biao)準的(de)監(jian)測(ce)(ce)性能(neng). RGA 的(de)標(biao)準裝備是(shi)法拉第杯(bei)檢測(ce)(ce)器(qi),當需要監(jian)測(ce)(ce)低(di)濃度(du)氣體時, 可選用(yong)電(dian)子倍(bei)增器(qi)檢測(ce)(ce)器(qi).

2、TRANSPECTOR MPH–高(gao)性能用(yong)于高(gao)要(yao)求的應用(yong)

Transpector MPH 設計用(yong)于要求 RGA 具有(you)*高監測性能的(de)應用(yong)中. Transpector MPH 可(ke)提供 100, 200 和 300 amu 三種(zhong)不同的(de)質(zhi)量范圍, 具有(you)工業(ye)上*低(di)的(de) MDPP. TranspectorMPH 可(ke)裝備法拉第杯或電(dian)子(zi)倍增器檢測器, 以及(ji)提供可(ke)選的(de)校準氣(qi)體, 用(yong)于簡易和RGA 質(zhi)量標度(du)自動調諧(xie)的(de)校準參(can)考(kao).

3、傳(chuan)感(gan)器(qi)設計用于(yu)工業的MBTF和低(di)的總體(ti)擁有成本

綜合(he)地采(cai)納(na)客戶的(de)(de)反饋和深入的(de)(de)市場分析, INFICON 革新了Transpector MPS 和 Transpector MPH 的(de)(de)離子(zi)源. 新型離子(zi)源在陽及, 陰(yin)及和反射及的(de)(de)組(zu)裝(zhuang)件中(zhong)(zhong)包(bao)含兩(liang)根(gen)燈(deng)(deng)絲. 帶有備用(yong)燈(deng)(deng)絲的(de)(de)雙(shuang)燈(deng)(deng)絲結構可延長 RGA 的(de)(de)運行周期(qi)和避免出現意(yi)外的(de)(de)系統停機故障. Transpector MPH 還提供特定應用(yong)的(de)(de)燈(deng)(deng)絲選擇(鎢燈(deng)(deng)絲用(yong)于(yu)含鹵素的(de)(de)過程中(zhong)(zhong)或涂(tu)敷氧化釔的(de)(de)銥燈(deng)(deng)絲用(yong)于(yu)含氧的(de)(de)過程中(zhong)(zhong)) 確保過程本身不會影響燈(deng)(deng)絲的(de)(de)使用(yong)壽命.

在(zai)一般真空應用(yong)中 Transpector MPS 裝備涂敷氧化釔的(de)銥燈絲.在(zai)Transpector MPH 或 Transpector MPS 中, 更換燈絲組件(jian)等同(tong)于傳統(tong) RGAs 中更換整個離子源. 成本(ben)的(de)節約將大大地降(jiang)低這兩種 RGAs 的(de)總體(ti)擁有(you)成本(ben).

新型傳感器結構提供更(geng)(geng)多的(de), 可現(xian)場更(geng)(geng)換(huan)電子倍增(zeng)器 (如裝備). 您(nin)可在(zai)定期(qi)(qi)的(de)維護周期(qi)(qi)中快速地現(xian)場更(geng)(geng)換(huan) EM. 新型倍增(zeng)器已(yi)發展為具(ju)有(you)更(geng)(geng)長使(shi)用壽命(ming), 提供更(geng)(geng)高的(de)法拉第(di)杯(bei)(FC) 靈敏度和更(geng)(geng)強的(de)增(zeng)益.

4、可定標的通訊方法(fa)用(yong)于(yu)現代化(hua)的制造*心

Transpector MPS 和 MPH 采(cai)用以太(tai)網(wang)(wang)作為 RGA 與(yu)計算(suan)機(ji)(ji)之間默認的通訊手段. 對于單傳感器運(yun)行, 可(ke)(ke)將傳感器連(lian)接(jie)至現(xian)有(you)的網(wang)(wang)絡或直接(jie)連(lian)接(jie)任何計算(suan)機(ji)(ji)上的以太(tai)網(wang)(wang)端口(kou). 采(cai)用現(xian)有(you)的網(wang)(wang)絡或用可(ke)(ke)選(xuan)的路由器或以太(tai)網(wang)(wang)開關, 可(ke)(ke)實行多傳感器運(yun)行.

5、滿足您需要的軟(ruan)件

Transpector MPH 與得獎的 FabGuard 程序套件(jian)是兼(jian)容(rong)的, 包括與 FabGuard 工(gong)藝(yi)集(ji)成監(jian)測軟(ruan)(ruan)件(jian)和FabGuard Explorer 檢測軟(ruan)(ruan)件(jian).

為易于運行(xing), Transpector MPS 設計(ji)于使用FabGuard Explorer 軟(ruan)件(jian). 兩種 RGAs 均配備機(ji)載的(de)(de)(de)網頁服務(wu)器(qi),它允(yun)許(xu)從連接網絡(luo)的(de)(de)(de)任(ren)何(he)設備, 無軟(ruan)件(jian)運行(xing)您(nin)的(de)(de)(de) Transpector MPS 或 MPH. 這個(ge)網頁服務(wu)器(qi)不僅是可(ke)查閱(yue)標準(zhun)數據的(de)(de)(de)單(dan)個(ge)程序. 而是允(yun)許(xu)用于您(nin)預期的(de)(de)(de)全(quan)部手動數據查閱(yue)技術, 包含檢(jian)漏和傳感器(qi)調諧(xie)等(deng)標準(zhun)維(wei)護(hu)功能的(de)(de)(de)網頁服務(wu)器(qi).

德國INFICON Transpector MPH/MPS質譜儀



德國INFICON Transpector MPH/MPS質譜儀技術參數:


MPS100F

MPS100M

MPS200F

MPS200M

MPH100F

MPH100M

MPH200F

MPH200M

MPH300F

MPH300M

傳感器(qi)長度(真空側)

14.3厘米(5.63 吋)

 

19.3厘米(7.83 吋(cun))

14.3厘米(5.63 吋)

19.3厘米(7.83 吋(cun))

 

14.3厘米(5.63 吋)

 

19.3厘(li)米(7.83 吋(cun))

 

14.3厘米(5.63 吋(cun))

19.3厘米(mi)(7.83 吋)

 

14.3厘(li)米(mi)(5.63 吋)

19.3厘米(mi)(7.83 吋)

 

質量范(fan)圍

1至100amu

 

1至200amu

 

1至100amu

 

1至200amu

 

1至(zhi)300amu

 

檢測器類型

FC

 

EM/FC

 

FC

 

EM/FC

 

FC

 

EM/FC

 

FC

 

EM/FC

 

FC

 

EM/FC

 

燈(deng)絲(si)類型

雙 Y2O3/Ir 燈(deng)絲

 

雙Y2O3/Ir(一(yi)般應用)或鎢(用于鹵素環境的應用)燈絲(si)

 

分(fen)辨率(按1993 AVS的方法)

<1amu 寬度 @ 10% 峰高處,包括(kuo)整個質量范圍(wei)

 

溫(wen)(wen)度系數(在8小時周期內, 半小時升溫(wen)(wen)后)

<1%峰高(gao)/°C(僅 FC)

 

靈(ling)敏度(du)–安/乇 FC

3x10-4(2.3x10-4 )

 

6x10-4(4.5x10-4)

 

5x10-4(3.8x10-4)

 

4x10-4(3x10-4)

*大(da)數據(ju)率(lv)(模(mo)擬(ni)掃描或選(xuan)定(ding)的峰)

3毫秒(miao)/點(dian)

 

1.8毫秒/點

 

零沖(chong)擊波干(gan)擾在 M2 處

<100ppm

 

<5ppm

 

<65ppm

 

<100ppm

 

總壓強(qiang)測量范(fan)圍,乇 (毫巴) **

2x10-7 –5x10-4 (2.7x10-7 –6.7x10-4 )

 

*大工作壓強– 乇 (毫(hao)巴)

5x10-4 (6.7x10-4 )

 

*大烘(hong)烤溫度(電子學卸除)

300°C

 

*大傳感器FC

工作溫度EM

200°C

N/A

 

200°C

150°C

 

200°C

N/A

 

200°C

150°C

 

200°C

N/A

 

200°C

150°C

 

200°C

N/A

 

200°C

150°C

 

200°C

N/A

 

200°C

150°C

 

電源(yuan)輸入(ru)

20-30 伏(直流(liu)),30 瓦*大–典(dian)型值 24 伏(fu)(直流)1.25 安(an)*大

 

以(yi)太網通訊接口(kou)

標準: CAT5e 以太網電纜連接

 

可選校準參考

無(wu)

 

氬(ya)用于EM校準(zhun)或測試混合物用于調(diao)諧(xie)

 

繼(ji)電器輸出

一個繼電器, 24 伏在 0.5 毫安

 

輸(shu)入

一個(ge)模擬輸(shu)入, 兩(liang)個(ge)數字輸(shu)入

LED 指(zhi)示燈 (綠(lv)色(se))

一個(ge)用(yong)于指示電(dian)源狀(zhuang)態, 一個(ge)用(yong)于指示發射狀(zhuang)態



*用一個基(ji)線噪聲的(de)標(biao)準偏(pian)差除以氮的(de)靈敏度計算的(de).

**與分壓(ya)強測量無關,用于連續的燈(deng)絲保護和(he)分析.



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