德國英福康INFICON CDG025D電容膜片真空計產品簡介：

INFICON SKY CDG025D 電(dian)容膜片計(ji)系列高精度溫度補償壓力計(ji)專(zhuan)為在惡劣的(de)制造工具環境中(zhong)保持(chi)穩定(ding)的(de)性能而(er)設計(ji)。

先進的數字電子設備可提(ti)高儀表性能(neng)并(bing)提(ti)供易于操作的功(gong)能(neng)，例(li)如一鍵歸零功(gong)能(neng)和設定點調整(zheng)。

耐(nai)腐蝕陶瓷傳感器提(ti)供的零穩定性，預期壽命(ming)長(chang)達數(shu)百萬(wan)個(ge)壓力(li)循(xun)環，包括(kuo)大氣爆裂。傳感器屏蔽可保護儀表免(mian)受(shou)過程污染。

穩(wen)健(jian)的機械設(she)計(ji)和數字(zi)電子設(she)備提高了 EMC 兼容(rong)性、長期穩(wen)定性和溫度補償。

CDG025D 為通電后的快速(su)穩(wen)定(ding)性和大氣壓力(li)暴露(lu)的快速(su)恢復設定(ding)了新標準。

產品特點：

. 滿量程范圍從(cong) 100 mTorr … 1000 Torr

. 上電后快速(su)穩定

. 從大(da)氣壓中快速(su)恢復

. 耐腐(fu)蝕陶瓷傳感器

. 長期信號穩(wen)定性

. 溫度補償

. 傳感器免受污染

. 一(yi)鍵歸(gui)零(ling)功能

. 寬范圍(wei)電(dian)源。

德國英福康INFICON CDG025D電容膜片真空計產品應用：

. 用于蝕(shi)刻、CVD、PVD、ALD的半導體制造設(she)備(bei)

. 數(shu)據存(cun)儲和顯示制造設備(bei)

. 工(gong)業真空(kong)設備

. 通(tong)用高精度壓(ya)力測量(liang)。